第393章 落子二(一根)
不过杨刚省的担忧,在周瑜的讲述之后,很快就散去了不少。
“光刻胶这个材料,虽然极其重要,但是必须综合评价各性能指标与客户需求匹配性。
在我了解的情况当中,光刻胶厂商在一个型号或者一个系列的光刻胶目录下,有十几个甚至几十个品种,以满足不同客户的需求。
因此光刻胶性能好坏并不能简单的以各个指标的绝对值进行判断,还须经过充足的光刻工艺评估,符合客户需求的,才是最优秀的材料,所以我们不仅需要开发光刻胶,还需要足够了解光刻胶的成员与各芯片代工企业沟通,知道材料的偏性。
而且按照光照后显影时与显影液产生的化学反应划分,它还可以分为正胶与负胶。正胶的光敏成分在光照下会分解成为短链结构,从而在显影环节中会被显影液去除,因此在光线照到的区域,会被显影液去除,在蚀刻过程中光照到的区域会被等离子化气体蚀刻去除,最终留下的图样是曝光工序中光线所没有照到的区域。
负胶与正胶的图形转移过程找好相反。聚合物的短链分子在光照条件下发生聚合反应,形成难以被显影液除去的聚合体系,未被光照的区域光刻胶被去除,在后续的刻蚀中被移除,形成与掩模板上相反的结构。
对于正胶与反胶而言,虽然进入duv时代以后,正胶成为了绝对的主流,但这并不意味着负胶的性能落后于正胶。
不过现在euv光刻机进入真正的高端代工产业,台积电肯定要解决光源强度不足的问题,化学放大光刻胶或将成为主流。
化学放大型光刻胶主要组分摆阔成膜树脂、光致产酸剂、添加剂、溶剂。
由于化学放大型光刻胶的量子效率远远高于其他体系,因此化学放大反应也几乎成为了深紫外时代以来光刻胶配方设计的唯一路线。
杨刚省主管曾经在台积电的光刻胶项目工作过,不过现在已经过了竞业协议期,并且参与的也是新技术开发,所以,您愿意带领团队,继续在光刻胶这个行业奋斗吗?”
杨刚省没想到周瑜连自己的竞业协议时间都记得,而且还知道现在光刻胶最新项目的发展方向。
想到曾经遇到的那些恶心遭遇,虽然年纪已经不算年轻,但杨刚省还是有那么一口气在。
他当即抬起头,开口说道:“我愿意带领团队,只要公司能够给予我们团队足够的支持,光刻胶这个难啃的骨头,我们团队哪怕崩了牙齿,也得啃下来!”
足够的支持?
周瑜并没有对这位大将要资源而感到气愤,毕竟古代皇帝都知道不差饿兵,现在科研攻坚需要的资源更多,没有设备和材料、技术支援,哪怕是让诺奖得主去搞项目,人家也不可能手搓成功。
不过周瑜并没有单独给杨刚省保障,而是对这位大将点了点头,转而对所有研发人员说道:“咱们公司研发项目一项都是不遗余力,寻找任何可能的帮助。
辅旦高校、西工大等有合作的高校教授都会给予我们帮助支持,同时公司其他研发团队的成员也会团结互助,大家将项目方案提交审核通过之后,设备采购部门也会配合大家的需求,进行采购。
哦对了,之前大家有完成半导体光污染处理技术的攻克,目前公司已经在接触企业提供这项技术产品,后续会有相对应的项目分红打到大家的卡上。”
不仅给粮草,还直接将未来的分成给提到台面上。
这就是周瑜的回应。
所有人都知道自家董事长慷慨,有这么一个保障,众人心中的信心都增加了不少。
搞科研最怕的就是只喊口号,不给资源支持的领头人。
而且不仅如此,周瑜还在黑板上写下了一堆企业名字,其中有很多霓虹企业。
“东芝开发低分子 euv光刻胶。东京应化与信越化学的光刻胶,也是行业大头,听说现在霓虹企业们也在联合开发50纳米制程以下工艺的化学放大型 euv光刻胶。
从专利数量来看,从世纪之初开始,霓虹岛国的富士胶片、信越化学、住友化学这 3家龙头公司合计申请了光刻胶行业 80%以上的专利。
如果我们不研发光刻胶,等对方完成了高端制程euv光刻胶的研发,以后咱们在半导体产业取得的收益都要给这些霓虹企业一份。
说实话,我个人是不想给的,甚至很反感给!
所以这一次光刻胶的研发,我会为大家找我们大夏联邦某些特殊渠道的研发资源,大家看了相关技术文件之后,不
要去问来源,只需要去验证就行。
如果技术验证可行,那咱们就能大踏步前进,如果验证不行,咱们也能够去掉一个错误研发方向。”
光刻工艺包含十多个步骤,其中光刻胶涂胶、曝光和显影是关键步骤。而光刻胶、Cmp抛光材料以及晶圆培育则是整个半导体行业的核心重点。
毕竟光刻机不可能对着一块石头,光刻出芯片。
大夏联邦的民众对霓虹岛国有一种特殊的情绪,本来就已经鼓起了信心的这些研究人员,听到周瑜的这一番话之后,更是心气升腾。
就像当初设计芯片的研究人员,一想到自己攻克的产品能够脚踢英特尔,脚踩高通,都是兴奋地觉都不睡,每次都是熬到实在熬不动了,去实验室的休息室里面眯一会儿,清醒后吃了东西就继续工作。
光刻胶项目,交给了杨刚省团队,Cmp抛光材料项目交给了西工大毕业的李明伟教授,而晶圆培育这个项目,则是交给了从海外企业回大夏,听到西蜀新科攻破芯片设计难题,就跑来应聘的罗塘教授。
不过周瑜也没有真的对这三个团队“寄予厚望”。
毕竟这三个项目不是那么简单就容易出成绩的,他打算等这三个团队遇到问题之后,再通过一些特殊的渠道,将自己掌握的技术传授给他们。