第588章 自主

周瑜刚好在和一个实验室的团队讨论技术。

“基于稳态微聚束原理，能获得高功率、高重频、窄带宽的相干辐射光，波长可覆盖从太赫兹到极紫外波段，其中就包括了极深紫外线光刻机所需要的13.5纳米波长的euv光。

其实这个技术，咱们也不是唯一在搞研究的，青木大学有一位博士就有在研究这个技术，只不过他们并没有专门向半导体光刻胶的光源方向上发展，而是在做理论研究和多方向的探索。

只不过稳态微聚束光源的潜在应用之一就是作为未来euv光刻机的光源，因为咱们是专研，所以咱们目前的研究进度或许要比他们更前进一点。”

对于这点，周瑜倒是并没有再开玩笑。

因为根据前世的记忆，他知道这个教授的团队与德国的合作团队，大概要等到大夏阴历2020年之后，才会在《自然》杂志上发表了《稳态微聚束原理的实验演示》，报告稳态微聚束的首个原理验证实验。

八年之后才会发表，现在对方可能连大型实验项目的规划都还没有出来。

怎么和他这个开卷写答案的进度比较？

而后，就得知了这位邹王振教授已经到了研究大楼的信息。

于是，在邹王振教授们“历经了千辛万苦”之后，这才是见到了正主。

周瑜与李贤审两人，带着几位半导体工程师，在研究楼与其见面。

在相互介绍之后，邹王振教授握着周瑜的右手，主动问道。“周董事长，贵公司对稳态微聚束技术怎么看？”

面对这个问题，虽然周瑜也可以让最新招聘到的光学教授和其他工程师们来回答，但是在看到面前老人眼中的光亮时，他选择了自己回应。

看了看四周，没有额外人员，他微笑着对这位教授回道：“相比于目前阿斯麦公司的光刻机所使用的极紫外光技术，咱们的光学团队都一致认为稳态微聚束是一种更理想的光源，原因在于后者具有更高的平均功率、更高的芯片产量，以及更低的单位成本。

利用激光等离子体产生极紫外光源，将强激光脉冲投射到液态锡滴上。

激光会粉碎液态锡滴，在撞击过程中产生极紫外脉冲光，并在经过复杂的滤波和聚焦后，产生功率约250瓦的极紫外光源。

而在到达芯片之前，这极紫外光束要经过11个镜子的反射，每个镜子都会损失30%的能量，因此光束到达晶圆时的功率小于五瓦。

虽然现在看这个光源制造十纳米制程的芯片，可以说是手到擒来，只要技术规格和设备精度达到了，很快就能够制造出来。

但是这种光源在制造五纳米以下的3纳米、4纳米的芯片时，就会成为一个老大难的问题，因为能量不够集中，不够精密。

当然，现在台积电和高丽韩星电子的半导体芯片制程都已经变成了他们两家公司自己设定的规格，而非真正意义上的物理规格制程，所以我估计这一天会来得比较晚，至少十年之内不会有光源问题。

但这也只是比较晚，而并非彻底解决了问题。”

说到这里，周瑜的话语顿了顿。

“但稳态微聚束技术避免了这个问题。稳态微聚束光束实现了一千瓦的更高输出功率，加上它带宽较窄，需要更少的反射镜，因此可以产生更高的终端功率。

我们现在正设计一个功率高于一千瓦稳态微聚束极紫外光源，只要等咱们这边的电子对撞试验场地和设备建成，还有一些关键技术成熟，或许设计的蓝图，将会很快成为现实中的设备。”

听到周瑜的“画饼”，邹王振教授和他身旁的三位博士生都有些心向往之。

而且除了画饼之外，周瑜还带着邹王振教授一行人参观了一些不算技术核心的数据和模型推导成果，展示了新科半导体光学团队为将稳态微聚束技术进行落地实践和技术成果未来转化，所做的努力。

当然，除此之外，周瑜也对邹王振教授一行人直言：“咱们大夏联邦的光刻机自主研发之路，还有很长的路要走。

我们和其他高校、试验机构一起披荆斩棘，也只是在勉强开垦一条可供行走的道路罢了。”

周瑜一直都认为，基于稳态微聚束的极紫外光源技术，也只是能够解决自主研发光刻机中最核心的光源难题，除此之外，半导体产业的革新和进化，还需要大夏联邦半导体产业的上下游产业链相互配合升级，才能获得真正成功。

听完周瑜的讲述之后，邹王振教授也是感慨万千。

“光刻机这个设备，一直都是工业明珠中最闪亮的一颗。

它背后的一整套纳米工业产业链，根本不是一所高校、一个实验室、一家企业能够完成的。

阿斯麦公司和我的团队也有过沟通交流，他们最顶级的一台光刻机，其内部就有超过10万个高精尖的零部件，它们来自蓝星全球5000多家供应商，并且在组装的时候，还要保证整台机器的所有零件都要达到纳米级精度。

贵公司的微聚束极紫外光源粒子加速器尚未建成，其他零部件的生产工艺也远远没有达标，还有咱们大夏联邦的高精尖机床，现在也发展迟缓。

的确是任重而道远啊。”

听到这个感慨，周瑜也点了点头。

“曾子曾经说过：‘士不可以不弘毅，任重而道远。仁以为己任，不亦重乎？死而后已，不亦远乎？’

我把全部精力投入到半导体行业，就是为了咱们华夏一族可以从芯开始，完成高科技产业的真正自主发展。

以前在上沪辅旦大学进修国际关系学的时候，我就看了太多的世界历史上的强国，因革新自主而强大，因无法自控，无法自主而衰退。

除了光源之外，我们还需要突破更复杂的光照反射镜光学系统，并且联合大夏联邦的所有有志之士，和高校、研究机构、其他合作企业们一起，集齐光刻机所需的每一个零部件！

我们要真正实现，光刻机自主！半导体产业自主！”